چرا ما به استفاده از لامپهای مادون قرمز ضدآب برای خشک کردن نیمههادیها روی آوردیم؟
در مرحله شستشوی واحدهای نیمههادی، هدف اصلی این است که رطوبت موجود روی ویفرها را به سرعت از بین ببریم، بدون اینکه حتی کمترین ذره کثیفی باقی بماند.
برای مدت طولانی، همه از فنهای گرمایشی استفاده میکردند؛ اما در واقع، گرم کردن حجم زیادی از هوا، کاری بیفایده است. این روش کند، پرهزینه و باعث هدر رفتن انرژی میشود. به همین دلیل، ما به استفاده از لامپهای مادون قرمز ضدآب روی آوردیم؛ این روش، روشی خیلی بهتر برای انجام کار است.
راز این روش، در تراکم گرما نهفته است.
ما از لامپهای با تابش کوتاه و شدید استفاده میکنیم؛ زیرا این لامپها هوا را مختل نمیکنند و انرژی را مستقیماً به سطح ویفر منتقل میکنند.
نتیجه چیست؟ دیگر نیازی نیست منتظر گرم شدن هوا باشیم؛ این لامپها در عرض چند ثانیه به دمای مورد نیاز میرسند. این روش بسیار سریع است. و چون این لامپها به سرعت گرم میشوند، دیگر نیازی نیست دستگاه را در حالت کاری کامل نگه داریم.
مقابله با مشکلات مربوط به رطوبت
محیطهای شستشو، به طور ذاتی، مرطوب هستند؛ اگر لامپ معمولی مادون قرمز را در این محیطها قرار دهیم، احتمالاً فوراً خراب خواهد شد. این موضوع خوب نیست.
برای جلوگیری از این اتفاق، الکترودهای لامپها را محکم بسته و از غلافهای ویژه کوارتزی برای جلوگیری از ورود رطوبت استفاده میکنیم. این کار باعث میشود لامپها در شرایط مرطوب یا در صورت برخورد آب به آنها، خراب نشوند.
اما نکته مهم این است که نمیتوانیم لامپها را فقط در پلاستیک بپیچیم و کارمان تمام شود؛ باید تعادلی بین محافظت از لامپها و دسترسی گرما به آنها برقرار کنیم. این پوشش میتواند طیف نور را کمی تغییر دهد؛ بنابراین ما زمان زیادی را صرف تنظیم طول موج نور میکنیم. ما میخواهیم که انرژی بتواند از پشت لایه آب روی ویفر عبور کند، بدون اینکه سطح ویفر خراب شود.
سبزتر کردن کارخانه
حذف فنهای گرمایشی، تأثیر زیادی بر کارایی کارخانه دارد؛ میتوانیم از آن فنهای بزرگ و سیستمهای لولهکشی پیچیده خلاص شویم. کاهش تجهیزات، به معنای کاهش مصرف انرژی است؛ این کار باعث میشود کل سیستم کارخانه کارایی بیشتری داشته باشد.
البته یک نکته مهم وجود دارد؛ اگر قصد دارید لامپهای قدیمی را با لامپهای مادون قرمز جایگزین کنید، نمیتوانید فقط آنها را وصل کنید و انتظار بهترین نتیجه را داشته باشید. این لامپها در لحظه روشن شدن، مقدار زیادی جریان برمیدارند؛ بنابراین بهتر است سیستم سیمکشی خود را بررسی کنید و شاید مدارهای حفاظتی خود را نیز بهبود دهید، تا هر بار که لامپها روشن میشوند، مشکلی پیش نیاید.