http://warm-ir-heater-build.com/fa/tags/%D8%AF%D9%82%D8%AA/ Recent content in دقت on Custom Warm IR Heater Builds Hugo fa Tue, 23 Jun 2026 13:34:22 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/fa/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Tue, 23 Jun 2026 13:34:22 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/fa/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://warm-ir-heater-build.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="سنسور مادون قرمز با دقت بالا برای ویفرها"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، مراحل پخت نرم و سخت، جایی هستند که پروفایل رزیست فوتوگرافیک تعیین می‌شود. تغییر ۲ درجه سانتی‌گراد در دما، می‌تواند باعث تغییر ۲۰ نانومتری در دمای سطح ویفر شود؛ این تغییرات منجر به تفاوت‌هایی در عرض خطوط روی ویفر می‌شود. بنابراین، نیاز به کنترل دقیق دما وجود دارد تا بتوان آن را اندازه‌گیری، تکرار و ردیابی کرد.</p> <p><strong>چه چیزی اهمیت دارد؟</strong><br> ما سنسور IR دقیقی را بر اساس یک ساطع‌کننده نور در طول موج NIR پایدار و یک آشکارساز تنظیم‌شده ساختیم؛ بنابراین یکنواختی دمایی در سطح ویفر در حین فرآیند پخت، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حفظ می‌شود. سر سنسور می‌تواند از میان دریچه‌های باریک فر عبور کند؛ همچنین، سیستم نوری آن در برابر خارج شدن گازها محافظت شده است؛ این امر باعث می‌شود که اندازه‌گیری‌ها در اتاق‌های تمیز کلاس ۱ تا ۱۰۰ یکنواخت باقی بماند. عدم تولید هیچ ذره‌ای نیز یک ویژگی مهم این سنسور است؛ این امر از طریق حذف قطعات چرخنده و حفظ مسیر ثابت نوری محقق می‌شود. تکرارپذیری خروجی سنسور نیز در محدوده ۰.۱٪ باقی می‌ماند؛ بنابراین می‌توان از این سنسور برای فرآیندهای طولانی‌مدت استفاده کرد، بدون نیاز به تنظیم مجدد.</p>