عنصر گرمایشی برای پخت نرم لیتوگرافی
در کارخانههای تولیدی با قطر ۳۰۰ میلیمتر، فرآیند گرم کردن نرم، در واقع یک روش برای آمادهسازی سطح ویفر برای فرآیندهای بعدی است؛ این فرآیند، اولین...
لامپ فر لیتوگرافی نیمههادی
در کارخانههایی که ۷×۲۴ ساعته فعالیت میکنند، فرآیند پخت فوتورزیست نه تنها یک مرحله عادی است، بلکه تفاوت بین الگویی که قابل استفاده است و ویفری که...
لامپ یدکی لیتوگرافی ASML
در خط تولید، بودجه حرارتی مربوط به هر دسته از قطعات، از پیش تعیین شده است. اگر توان لامپ تغییر کند یا دمای فر پخت نامنظم شود، کنترل ابعاد حیاتی قطعات...