http://warm-ir-heater-build.com/fa/tags/%D9%84%DB%8C%D8%AA%D9%88%DA%AF%D8%B1%D8%A7%D9%81%DB%8C/ Recent content in لیتوگرافی on Custom Warm IR Heater Builds Hugo fa Thu, 02 Jul 2026 03:54:15 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/fa/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Thu, 02 Jul 2026 03:54:15 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/fa/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://warm-ir-heater-build.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="عنصر گرمایشی برای پخت نرم لیتوگرافی"></p> <p>در کارخانه‌های تولیدی با قطر ۳۰۰ میلی‌متر، فرآیند گرم کردن نرم، در واقع یک روش برای آماده‌سازی سطح ویفر برای فرآیندهای بعدی است؛ این فرآیند، اولین گام در کنترل ابعاد حیاتی ویفر محسوب می‌شود. تغییر دمای ۲ درجه سانتی‌گراد در سطح ویفر، می‌تواند باعث تغییرات نانومتری در ابعاد آن شود؛ این امر می‌تواند منجر به اختلالات جدی در کل محموله تولید شود. لذا، عنصر گرمایشی باید دارای پایداری حرارتی مناسبی باشد، درست مانند لنزهای استفاده شده در فرآیندهای اسکن.</p> http://warm-ir-heater-build.com/fa/posts/semiconductor-lithography-oven-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 01:53:49 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/fa/posts/semiconductor-lithography-oven-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-build.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="لامپ فر لیتوگرافی نیمههادی"></p> <p>در کارخانه‌هایی که ۷×۲۴ ساعته فعالیت می‌کنند، فرآیند پخت فوتورزیست نه تنها یک مرحله عادی است، بلکه تفاوت بین الگویی که قابل استفاده است و ویفری که بی‌فایده است را نیز مشخص می‌کند.<br> اگر نور لامپ در فر انحراف داشته باشد، یکنواختی حرارتی کاهش می‌یابد؛ در نتیجه کنترل ابعاد مهم نیز دچار اختلال می‌شود. نمی‌توان با تنظیمات دستی، به بهبود بازدهی دست یافت؛ بنابراین نیاز به منبع حرارتی ثابت وجود دارد.</p> <p><strong>چه چیزهایی اهمیت دارد؟</strong><br> ما لامپ فر لیتوگرافی را با استفاده از عناصر هالوژنی با طول موج کوتاه درون پوشش کوارتزی ساخته‌ایم؛ این لامپ پاسخ سریعی دارد و خروجی طیفی ثابتی ارائه می‌دهد. نتیجه این کار، یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد است؛ بنابراین جریان فوتورزیست و حذف محلول‌ها در هر بار تولید، قابل تکرار خواهد بود.<br> سر لامپ نیز مناسب محیط‌های کلاس ۱ تا ۱۰۰ است و در حین کار هیچ ذره‌ای تولید نمی‌کند. این لامپ به طور مداوم کار می‌کند و هیچ توقف غیرمنتظره‌ای ندارد؛ عمر مفید آن بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت است و پایداری خروجی آن در طول این مدت حفظ می‌شود.</p> http://warm-ir-heater-build.com/fa/posts/asml-lithography-lamp-spare/ Sat, 20 Jun 2026 02:33:51 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/fa/posts/asml-lithography-lamp-spare/ <p><img src="http://warm-ir-heater-build.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="لامپ یدکی لیتوگرافی ASML"></p> <p>در خط تولید، بودجه حرارتی مربوط به هر دسته از قطعات، از پیش تعیین شده است. اگر توان لامپ تغییر کند یا دمای فر پخت نامنظم شود، کنترل ابعاد حیاتی قطعات دچار اختلال می‌شود؛ در نتیجه خط تولید متوقف می‌گردد. لامپ‌های مورد استفاده در روش لیتوگرافی ASML، طوری طراحی شده‌اند که بتوانند دمای محیط را در طول فرآیند پخت حفظ کنند؛ به این ترتیب، پروفایل‌های مربوط به فوتورزیست در هر دسته از قطعات، یکسان باقی می‌ماند.</p>