Arrêtez d’attendre que l’air se réchauffe : pourquoi nous avons choisi des lampes à rayonnement infrarouge revêtues d’or
Si vous avez déjà utilisé un système de circulation d’air chaud, vous connaissez bien le problème : on chauffe l’air, puis on espère que cet air transférera la chaleur au pièce à traiter. Dans le traitement approfondi des semi-conducteurs, cet intermédiaire qu’est l’air est très gênant. Il crée un retard considérable qui ralentit tout.
Nous avons décidé de supprimer cet intermédiaire. Au lieu de chauffer l’air, nous utilisons des lampes à double tubage revêtues d’or. Elles émettent directement de l’énergie infrarouge sur la pièce à traiter. Pas d’attente, pas de perte de temps.
Le secret réside dans l’or
Les tubes en quartz standards fonctionnent bien, mais ils laissent s’échapper de l’énergie. Pour résoudre ce problème, nous avons recouvert l’intérieur du tube extérieur d’or. On peut considérer cela comme un miroir de haute qualité : il reflète toute l’énergie infrarouge directement sur la pièce à traiter.
De plus, en utilisant deux filaments dans un même espace restreint, on obtient une densité thermique bien plus élevée. Il n’est pas nécessaire d’allonger la lampe pour obtenir plus de puissance ; il suffit de la rendre plus efficace.
Arrêtez de perdre votre temps
Les systèmes à air chaud sont lents. Lorsque vous changez la température, vous devez attendre que toute la chambre se réchauffe. C’est frustrant.
Les lampes à rayonnement infrarouge, elles, fonctionnent instantanément. Dès que vous actionnez l’interrupteur, les photons atteignent immédiatement la cible. Pour ceux qui travaillent avec des wafer ou des pièces précises, cela permet de réduire le temps de traitement de 30 % à 60 %. Vous évitez ainsi de perdre des minutes inutilement pendant les phases de préchauffage et de refroidissement.
Les inconvénients (car il y en a toujours quelques-uns)
Ce n’est pas une baguette magique que l’on peut simplement intégrer dans n’importe quelle machine.
Tout d’abord, les lampes à rayonnement infrarouge à haute densité imposent une charge importante sur l’alimentation électrique. Il faut donc s’assurer que les contrôleurs puissent gérer cette consommation soudaine et élevée de courant.
De plus, étant donné que la couche d’or est très efficace pour concentrer la chaleur, il est facile de dépasser la température souhaitée si la réglage du PID n’est pas correct. Il faut également être précis quant à la distance entre la lampe et la pièce à traiter ; sinon, des zones trop chaudes risquent de se former.
Mon conseil ? Intégrez ces lampes dans un système de contrôle par zones. Cela vous permettra de mieux contrôler la distribution de la chaleur, ce qui est essentiel pour un traitement approfondi.