Dans les installations de fabrication de 300 mm, le processus de chauffage doux ne sert pas à préchauffer les wafers. Il s’agit plutôt du premier...

Dans une usine de production 7x24 heures, le séchage du photorésistant n’est pas simplement une étape supplémentaire. C’est plutôt le facteur décisif...

Sur le plan de production, le budget thermique pour chaque lot à traiter est fixé une fois pour toutes. Si la puissance émise par la lampe varie ou...