בקו ה-300 ממ, שליטה ברוחב הקו תלויה לחלוטין בתהליכי החימום הרך והקשה. שינוי של 2 מעלות צלזיוס באזור החימום עלול לפגוע קשות באיכות התוצאה. יש צורך במקור חום שיכול להתאים את עצמו לרמת הדיוק של הסורק – לא רק חיממן רגיל.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים בנורה שפולטת אור אינפרא-אדום, שמאפשרת שליטה מדויקת בטמפרטורה על פני הוואף, עם רמת דיוק של ±0.1 מעלות צלזיוס. הנורה מפיצה חום במהירות, ללא מגע עם הוואף. הספקטרום של האור מותאם כך שהפוטורזיסט יספוג את האור ביעילות, והחומר שעליו נמצא הוואף לא ייפגע. כך נשמרת רמת החום הנדרשת.
הנורה פועלת בחדר נקי מסוג Class 1–100: היא מאוחסנת במעטפת קוורץ, והגאומטריה שלה מאפשרת פעולה יעילה בתנאי זרימת אוויר ליניארית. אנו מוודאים שאין ייצור של חלקיקים במהלך הפעולה, והנורה יכולה לפעול למשך 5,000 שעות ויותר, עם ירידה ביעילות של פחות מ-5% – כך שהנורה פועלת 24/7.
למה זה עובד במקומות החשובים? בתהליך הליתוגרפיה, הנורה שפולטת אור אינפרא-אדום מחליפה את מקורות האור ההלוגניים ואת מקורות האור בגלי בינוני. זמן החימום פוחת, ורמת היציבות של הטמפרטורה נשמרת במהלך תהליכי החימום הרך והקשה. רמת הדיוק בפרופילי הפוטורזיסט משתפרת, מכיוון שהחימום נעשה ישירות על הסרט, ולא על החלקים שמסביבו.
צריכת האנרגיה פוחתת, מכיוון שהנורה מעבירה אנרגיה ביעילות, ואין צורך להחליף אותה לעתים קרובות – דבר שמפחית את זמני העצירה הבלתי צפויים. זו פתרון מושלם, שעומד בתקנים הבינלאומיים – אין צורך לבצע בדיקות נוספות על כל המערכת.
מה צריך לזכור? הנורה דורשת בקרה מתאימה ומערכת שליטה במעגל סגור. שימוש במעגל פתוח יגרום לשינויים בטמפרטורה – אל תנסו זאת. יש צורך בזמן התחממות קצר כדי להשיג יציבות בספקטרום האור, ויש להתחשב במרחק הנדרש ממישור הוואף.
יש לטפל במעטפת הקוורץ בזהירות, כדי למנוע נזקים כתוצאה מהשפעות ESD. כאשר הנורה ממוקמת במיקום הנכון, פרופילי החימום נשארים יציבים, כמות הפסולת פוחתת, ומחזורי התחזוקה נעשים צפויים יותר.