מחמם אינפרא אדום להפעלת דופנט

Mon, 01 Jun 2026 00:10:27 +0800

On the line, הווייפר ממתין לחימום כדי לנעול את פרופיל הדופנט. נקודה קרה אחת, סטייה בטמפרטורה אחת, והאקטיבציה לא מתקיימת במלואה. המפגש משתנה. התפוקה יורדת עוד לפני שהווייפר מגיע לתהליך האת’ או הליתוגרפיה. במפעל בעל נפח גבוה, סטייה תרמית אחת כזו יכולה למחוק משמרת שלמה.
בנינו את מחממי האינפרה-אדום שלנו לאקטיבציית דופנט כדי לחסל את הסיכון הזה. המטרה ברורה: שליטה בטמפרטורה ברמת הווייפר עם אחידות הדוקה והתנהגות מתאימה לחדר נקי שניתן לסמוך עליה.

מה חשוב, מבחינה טכנית

אקטיבציית דופנט היא בעיית תקציב תרמי, לא רק מספר טמפרטורה. יש צורך בחימום מהיר ומבוקר כדי להפעיל את המינים המושתלים מבלי לגרום לדיפוזיה לא רצויה. מחממי ה-IR שלנו משתמשים במנורות קצרות גל וחלונות קוורץ כדי למקד את האנרגיה בדיוק במקום הנדרש, עם תגובה מהירה מספיק לשמור על פרופיל תרמי בתוך החלון.
אנו משיגים אחידות ברמת הווייפר של ±0.1°C על פני האזור הפעיל. זה מאפשר לקבל התנגדות שכבתית עקבית ועומק צומת צפוי לאחר האקטיבציה. חזרתיות מחזור למחזור נשמרת בתוך ±0.2°C, כך שהמתכון זהה מביא לתוצאה חשמלית זהה, מחתיכה לחתיכה.
המערכת מיועדת לתפעול בחדר נקי בדרגות Class 1 עד Class 100. הרכיבים נבחרים כך שהמחמם לא ישחרר חלקיקים בזמן חימום במצב יציב, דבר שחשוב כאשר השלבים הבאים רגישים לפוטורזיסט. הארכיטקטורה מתוכננת לפעולה רציפה 24/7 – מחזורי חימום מותאמים לכלי תפוקה גבוהה ולחיי מנורה ארוכים.
והבקרה התרמית מתאימה לחלון התהליך של המפעל. לאפיית פוטורזיסט – אפייה רכה וקשיחה – יציבות הטמפרטורה משפיעה ישירות על בקרת מימדים קריטיים ופרופיל קירות הצד. אותה פלטפורמת IR מספקת טמפרטורת פלטן יציבה לזרימת פוטורזיסט עקבית והסרת ממס, ללא תנודות שמאפיינות דגמי פלטות חמות ישנים.

הפעלה on Custom Warm IR Heater Builds

מחמם אינפרא אדום להפעלת דופנט

מה חשוב, מבחינה טכנית