נורת תנור לליתוגרפיה של חצאי מוליכים
במפעל שפועל 24/7, תהליך האפייה של הפוטורזיסט אינו סתם שלב נוסף בתהליך הייצור. זהו השלב שקובע האם התבנית שנוצרה תהיה תקינה, או שהוואף ייחשב כלא תקין....
חלקי חילוף למנורות הליתוגרפיה של ASML
בקו הייצור, התקן התרמי עבור כל סדרת ייצור נקבע מראש. אם עוצמת האור של הנורה משתנה או טמפרטורת החימום סוטה מהערך הרצוי, השליטה בממדים החיוניים נפגעת –...