http://warm-ir-heater-build.com/he/tags/bake/ Recent content in Bake on Custom Warm IR Heater Builds Hugo he Thu, 02 Jul 2026 03:54:15 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/he/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Thu, 02 Jul 2026 03:54:15 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/he/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://warm-ir-heater-build.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="רכיב חימום לתהליך ההדפסה בליתוגרפיה"></p> <p>בקומת הייצור של 300 ממ, תהליך החימום העדין אינו נחשב לשלב הכנה בלבד. זהו השלב הראשון בשליטה בממדים הקריטיים של הוואפר. שינוי של 2 מעלות צלזיוס בטמפרטורה יכול לגרום לשינוי של ננומטרים במיקום הוואפר, וזה עלול לפגוע באיכות כל המוצרים שייוצרו. לכן, יש צורך שהרכיב המחמם ישמור על יציבות תרמית, באותה רמת דיוק כמו העדשות של הסורק.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> עיצבנו את רכיב החימום כך שהוא ישמור על אחידות טמפרטורה של ±0.1 מעלות צלזיוס בתוך הוואפר. הרכיב משתמש בנורה הלוגן בעלת גל ארוך, המונחת בתוך מעטפת קוורץ בעלת טוהר גבוה. כך ניתן להשיג תגובה מהירה, עם מינימום אינרציה תרמית. דבר זה מאפשר שמירה על פרופיל חימום אחיד, ובכך לשמור על איכות הפוטורזיסט ללא חריגות.</p>