वेफरों को गर्म रखना: ट्रॉलियों हेतु आईआर हीटिंग के बारे में सच्चाई
यदि आपने कभी सेमीकंडक्टर फैक्ट्री में काम किया है, तो आपको वेफरों को एक जगह से दूसरी जगह ले जाने में होने वाली परेशानियों का अंदाजा होगा। सामग्री को ले जाते समय उसके तापमान को स्थिर रखना बहुत ही कठिन कार्य है। थोड़ी सी भी गलती से सामग्री पर थर्मल शॉक या दूषण हो सकता है, और इससे उत्पादन में कमी आ जाती है।
लंबे समय तक हमने कन्वेक्शन ओवनों का ही उपयोग किया। लेकिन ईमानदारी से कहें तो, ऐसे ओवन बहुत ही अकुशल हैं, एवं बहुत सारी ऊर्जा बर्बाद हो जाती है। यदि हम वास्तव में कार्बन न्यूट्रैलिटी के लक्ष्य को हासिल करना चाहते हैं, तो हमें हवा को गर्म करने के बजाय सीधे सामग्री को ही गर्म करना होगा। यहीं पर ट्रॉलियों हेतु शॉर्ट-वेव आईआर हीटिंग की आवश्यकता है।
वहीं गर्मी देना, जहाँ आवश्यक है
शॉर्ट-वेव आईआर हीटिंग की खूबी यह है कि यह सीधे ही सामग्री पर प्रभाव डालती है। ऊर्जा सीधे ही सामग्री पर ही रहती है; यह आसपास की हवा में नहीं जाती। इसका मतलब है कि वेफर को गर्म करने के दौरान HVAC सिस्टम को कमरे को ठंडा रखने हेतु अतिरिक्त प्रयास नहीं करने पड़ते।
यह तो बहुत ही तेज़ भी है… आपको बड़े चैंबरों का इंतज़ार करने की आवश्यकता ही नहीं है। बस स्विच दबाओ, और आप तुरंत ही तैयार हो जाएंगे।
सामग्री संबंधी विवरण
क्लीन रूम में, आप केवल शेल्फ पर रखी गई सामग्रियों का ही उपयोग नहीं कर सकते। हम उच्च शुद्धता वाली क्वार्ट्ज ट्यूबों का ही उपयोग करते हैं। सामान्य सामग्रियाँ टूट जाती हैं, और हमारी दुनिया में तो थोड़ी सी भी धूल बहुत ही बड़ी समस्या है।
हम लैंपों पर विशेष परतें भी लगाते हैं, ताकि ऊर्जा सीधे ही वेफर पर ही पड़े, एवं ट्रॉली के फ्रेम पर नहीं।
चूँकि उपकरण टूट जाते हैं… इसलिए हम सामान्य कनेक्टरों का ही उपयोग करते हैं। यदि कोई लैम्प खराब हो जाता है, तो तकनीशियन तुरंत ही नया लैम्प लगा सकते हैं… पूरे चेसिस को फिर से जोड़ने या किसी विशेषज्ञ को बुलाने की आवश्यकता ही नहीं है।
एक ही समस्या
लेकिन इतनी ऊर्जा का उपयोग करने से एक समस्या भी है… छोटे से स्थान में इतनी ऊर्जा डालने से फ्रेम में गर्मी जमा हो जाती है। ऐसे में फ्रेम विकृत हो जाता है, या क्लीन रूम में अलार्म बजने लगता है। आपको आवश्यक ऊर्जा एवं ट्रॉली की क्षमता के बीच संतुलन बनाना होगा।