फैब फ्लोर पर, प्रत्येक उत्पादन सत्र के लिए ऊष्मा-संबंधी मान निर्धारित होते हैं। यदि लैम्प का आउटपुट बदल जाता है, या बेकिंग तापमान में बदलाव हो जाता...

On the lithography floor, a soft bake that’s even a few degrees off can send critical dimensions drifting across the wafer. The heater isn’t just...