लिथोग्राफी सॉफ्ट बेक हीटिंग एलिमेंट
300 मिमी आकार के फैब्रिकेशन यूनिट में, “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया कोई वार्म-अप प्रक्रिया नहीं है; बल्कि यह क्रिटिकल डाइमेंशन कंट्रोल हेतु पहला चरण है।...
सेमीकंडक्टर लिथोग्राफी ओवन लैंप
7×24 घंटे काम करने वाली फैक्ट्रियों में, फोटोरेजिस्ट को गर्म करना कोई साधारण प्रक्रिया नहीं है। यह तो ऐसा चरण है जिसके द्वारा ही यह तय होता है कि...
एएसएमएल लिथोग्राफी लैंप के स्पेयर पार्ट्स
फैब फ्लोर पर, प्रत्येक उत्पादन सत्र के लिए ऊष्मा-संबंधी मान निर्धारित होते हैं। यदि लैम्प का आउटपुट बदल जाता है, या बेकिंग तापमान में बदलाव हो जाता...