http://warm-ir-heater-build.com/hi/tags/%E0%A4%B8%E0%A4%9F%E0%A5%80%E0%A4%95%E0%A4%A4%E0%A4%BE/ Recent content in सटीकता on Custom Warm IR Heater Builds Hugo hi Tue, 23 Jun 2026 13:34:22 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/hi/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Tue, 23 Jun 2026 13:34:22 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/hi/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://warm-ir-heater-build.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="वेफरों के लिए प्रीसिजन आईआर सेंसर"></p> <p>लिथोग्राफी प्रक्रिया में, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” ऐसे चरण हैं, जिनमें फोटोरेसिस्ट की विशेषताओं को निर्धारित किया जाता है। 2°C का अंतर भी Ttop मान में 20 नैनोमीटर का बदलाव ला सकता है; ऐसा बदलाव पूरे उत्पादन सेट में लाइनविड्थ में भिन्नता के रूप में दिखाई देता है। इसलिए तापमान नियंत्रण आवश्यक है – ताकि उसे मापा जा सके, दोहराया जा सके, एवं उसका ट्रैक रखा जा सके।</p> <p><strong>क्या महत्वपूर्ण है?</strong><br> हमने उच्च सटीकता वाले IR सेंसर को एक स्थिर NIR एमिटर एवं कैलिब्रेटेड डिटेक्टर के साथ विकसित किया है; इससे बेकिंग के दौरान वेफरों पर तापमान स्थिर रहता है (±0.1°C के भीतर)। सेंसर हेड, ओवन की छोटी खिड़कियों से भी आसानी से अंदर जा सकता है; ऑप्टिक्स भी गैस निकलने से सुरक्षित रहता है। इससे क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी पढ़ने के परिणाम स्थिर रहते हैं। “शून्य कण उत्पन्न होना” कोई वादा नहीं, बल्कि घूर्णन वाले घटकों को छोड़कर एवं स्थिर अलाइनमेंट पथ को बनाए रखकर ही यह संभव है। आउटपुट की पुनरावृत्ति 0.1% के भीतर ही रहती है; इसलिए बिना पुनः कैलिब्रेशन के ही लंबे समय तक प्रक्रिया चल सकती है।</p>