Pada jalur 300mm, drift suhu pemanggangan sebesar 0,5°C akan merusak kontrol CD dan meningkatkan jumlah limbah. Di ruang bersih Kelas 1–100, satu partikel dari pemanas sudah cukup untuk merusak sebuah die. Kami membangun pemanas inframerah ruang bersih kami untuk menghilangkan kedua mode kegagalan tersebut.
Apa yang penting, secara teknis
Kami menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek untuk transfer energi yang cepat dan langsung, serta mempertahankan keseragaman wafer pada ±0,1°C di seluruh zona pemanggangan. Peningkatan suhu dan tahap penyerapan dapat diulang dengan baik dari satu proses ke proses berikutnya, sehingga profil soft bake dan hard bake Anda tetap terjaga. Badan pemanas ramah ruang bersih—permukaan halus, bahan dengan emisi rendah—dan tidak menghasilkan emisi partikel saat beroperasi. Kontrolnya cukup ketat untuk menjaga anggaran termal pada node canggih, di mana margin sangat tipis.
Mengapa ini sesuai dengan jalurnya
Dalam jalur litografi, Anda memerlukan panas yang cepat, stabil, dan tidak meninggalkan apa pun. Pemanas inframerah kami cepat mencapai titik setel, mengurangi waktu siklus tanpa mengorbankan kontrol profil. Pemanas ini beroperasi 7×24 dengan waktu henti yang tidak terencana nol, dan umur pemancar mendukung kampanye panjang tanpa sering melakukan penggantian, sehingga jalur Anda tetap dalam kondisi dan pemeliharaan tetap dapat diprediksi. Hasilnya adalah dimensi kritis yang stabil, limbah yang lebih sedikit, dan hasil yang konsisten.
Apa yang perlu Anda rencanakan
Pemanas ini terhubung dengan pengaturan jalur standar, tetapi profil termalnya sensitif terhadap geometri ruang dan aliran udara. Komisioning berarti memetakan zona panas dan menyetel tata letak pemancar sesuai dengan ruang pemanggangan tertentu. Sediakan waktu integrasi yang singkat, dan verifikasi jumlah partikel pada suhu operasi sebelum Anda melanjutkan proses.