http://warm-ir-heater-build.com/id/tags/akurasi/ Recent content in Akurasi on Custom Warm IR Heater Builds Hugo id Tue, 23 Jun 2026 13:34:22 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/id/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Tue, 23 Jun 2026 13:34:22 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/id/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://warm-ir-heater-build.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Sensor IR berkualitas tinggi untuk wafer"></p> <p>Di area litografi, proses “soft bake” dan “hard bake” merupakan tahap di mana profil fotoresist ditentukan. Perubahan suhu sebesar 2°C dapat menyebabkan perubahan nilai Ttop sebesar 20 nm. Perubahan ini akan berdampak pada variasi lebar garis pada permukaan wafer. Oleh karena itu, diperlukan kontrol suhu yang akurat, sehingga hasil pengukuran dapat dipantau secara konsisten.</p> <p><strong>Apa yang penting?</strong> Kami membangun sensor IR yang presisi ini berdasarkan emiter NIR yang stabil serta detektor yang telah dikalibrasi dengan baik. Dengan demikian, keseragaman suhu pada permukaan wafer tetap terjaga <a href="https://o-yate.com">dalam</a> rentang ±0,1°C selama proses pembakaran berlangsung. Sensor ini dapat dimasukkan ke dalam oven yang memiliki ruang sempit, dan bagian optiknya dirancang untuk mencegah keluarnya gas dari dalam oven. Hal ini memastikan bahwa hasil pengukuran tetap konsisten di ruang bersih kelas 1–100. Tidak adanya partikel yang terbentuk merupakan hal yang penting; hal ini dicapai dengan menghilangkan komponen-komponen yang berputar dan memastikan alur sinar tetap tetap. Repeatabilitas hasil pengukuran tetap berada dalam kisaran 0,1%, sehingga proses produksi dapat <a href="https://henruite.com">berjalan</a> tanpa perlu kalibrasi ulang.</p>