Elemen pemanas untuk proses lithografi jenis soft bake
Di lantai produksi berukuran 300 mm ini, proses “soft bake” bukanlah sekadar proses pemanasan awal. Proses ini merupakan langkah pertama dalam...
Lampu oven untuk proses litografi pada semikonduktor
Di pabrik yang beroperasi 24/7, proses pemanasan bahan fotoresist bukanlah sekadar langkah tambahan saja. Proses ini merupakan faktor penentu apakah...
Suku cadang lampu litografi ASML
Di pabrik pembuatan chip, batas-batas termal untuk setiap proses pengolahan sudah ditetapkan dengan jelas. Jika output lampu berubah atau suhu...