Sensor on Custom Warm IR Heater Builds

Pemanas untuk mengeringkan wafer sensor MEMS

Fri, 24 Jul 2026 09:51:32 +0800

Cara yang Lebih Efisien untuk Mengeringkan Wafer MEMS (Tanpa Pemborosan Energi)
Sejujurnya, cara konvensional untuk mengeringkan wafer MEMS merupakan proses yang membutuhkan waktu lama. Baik menggunakan oven konveksi maupun metode pengeringan berputar, pada dasarnya kita hanya perlu menunggu sementara energi yang banyak terbuang sia-sia. Proses ini lambat, boros energi, dan sudah ketinggalan zaman.

Kami telah menemukan cara yang lebih baik. Alih-alih memanaskan seluruh ruangan hanya untuk mengeringkan wafer, kami menggunakan teknik pemanasan inframerah gelombang pendek (SWIR). Ini merupakan pendekatan yang berbeda; alih-alih memanaskan udara, kami fokus pada molekul-molekul air itu sendiri. Dengan demikian, kelembapan akan hilang dengan cepat.

Sensor suhu untuk alat pemrosesan wafer

Sat, 18 Jul 2026 02:17:11 +0800

Berhentilah Memanaskan Dinding Peralatan Anda (Dan Mulailah Memanaskan Wafer Itu Sendiri)

Sebagian besar elemen pemanas standar hanya memancarkan energi ke segala arah. Hal ini merupakan masalah besar bagi peralatan pemrosesan wafer.
Bayangkan saja: sebagian besar panas tersebut bahkan tidak sampai ke permukaan wafer. Panas tersebut malah diserap oleh dinding-dinding bagian dalam peralatan tersebut. Akibatnya, dinding-dinding tersebut menjadi sangat panas, dan hal ini merupakan pemborosan energi yang sia-sia. Lebih buruk lagi, hal ini juga berbahaya bagi keselamatan pengguna. Tidak ada yang ingin operator terluka hanya karena harus menyentuh bagian dalam mesin tersebut.

Pemanas untuk pembuatan sensor hidrogen

Fri, 17 Jul 2026 02:13:02 +0800

Menggunakan Sinar Inframerah untuk Proses Pemanasan Sensor Hidrogen yang Tepat

Saat memproduksi sensor hidrogen, faktor panas merupakan hal yang perlu diperhatikan dengan seksama. Sensor-hensor ini memiliki membran yang sangat sensitif, sehingga jika proses pemanasan bahan pengikat atau pasta konduktifnya tidak dilakukan dengan benar, maka hasilnya hanyalah benda yang tidak berguna dan mahal harganya.

Itulah mengapa kita menggunakan pemanas berbasis sinar inframerah gelombang pendek. Alih-alih memanaskan seluruh udara di dalam ruangan—yang merupakan pemborosan waktu—sinar inframerah langsung menyerap energi ke dalam bahan tersebut. Cara ini lebih efisien dan presisi.

Kemasan sensor cerdas untuk sinar inframerah

Sun, 12 Jul 2026 06:18:01 +0800

Berhentilah menjadikan peralatan Anda sebagai “oven” yang memanaskan segala sesuatu di sekitarnya. Pernahkah Anda menyentuh permukaan komponen semikonduktor dan terkejut karena permukaannya sangat panas? Hal ini sering terjadi. Anda berusaha untuk memanaskan bagian dalam mesin, tetapi alih-alih panas tersebut sampai ke tempat yang dituju, dinding luar malah menyerap seluruh panas tersebut. Ini sangat menyebalkan, dan sebenarnya merupakan masalah keselamatan yang serius bagi orang-orang yang mengoperasikan mesin tersebut.

Yang perlu diketahui adalah: lampu IR pada umumnya memancarkan panas ke segala arah. Panas tersebut tersebar ke 360 derajat. Ketika kita bekerja dengan ruang yang sempit untuk meletakkan sensor, hal ini justru membuang-buang energi. Akibatnya, chasis mesin pun menjadi panas, sehingga menciptakan efek “oven” yang berbahaya.

Sensor IR berkualitas tinggi untuk wafer

Tue, 23 Jun 2026 13:34:22 +0800

Di area litografi, proses “soft bake” dan “hard bake” merupakan tahap di mana profil fotoresist ditentukan. Perubahan suhu sebesar 2°C dapat menyebabkan perubahan nilai Ttop sebesar 20 nm. Perubahan ini akan berdampak pada variasi lebar garis pada permukaan wafer. Oleh karena itu, diperlukan kontrol suhu yang akurat, sehingga hasil pengukuran dapat dipantau secara konsisten.

Apa yang penting? Kami membangun sensor IR yang presisi ini berdasarkan emiter NIR yang stabil serta detektor yang telah dikalibrasi dengan baik. Dengan demikian, keseragaman suhu pada permukaan wafer tetap terjaga dalam rentang ±0,1°C selama proses pembakaran berlangsung. Sensor ini dapat dimasukkan ke dalam oven yang memiliki ruang sempit, dan bagian optiknya dirancang untuk mencegah keluarnya gas dari dalam oven. Hal ini memastikan bahwa hasil pengukuran tetap konsisten di ruang bersih kelas 1–100. Tidak adanya partikel yang terbentuk merupakan hal yang penting; hal ini dicapai dengan menghilangkan komponen-komponen yang berputar dan memastikan alur sinar tetap tetap. Repeatabilitas hasil pengukuran tetap berada dalam kisaran 0,1%, sehingga proses produksi dapat berjalan tanpa perlu kalibrasi ulang.