Nella fase di litografia, i processi di “soft bake” e “hard bake” sono quelli attraverso cui viene definito il profilo del fotorestista. Una variazione di temperatura di 2°C può causare uno spostamento di Ttop di 20 nm; tale variazione si traduce in alterazioni nella larghezza dei bordi dei circuiti realizzati. È quindi necessario un controllo preciso della temperatura, che possa essere misurato, ripetuto e tracciato con precisione.
Cosa è importante per funzionamenti precisi
Abbiamo progettato il sensore a infrarossi in modo che funzioni in modo affidabile, utilizzando un emettitore NIR stabile e un rivelatore calibrato. In questo modo, l’uniformità termica a livello dei wafer rimane entro i ±0,1°C durante i processi di cottura. La testa del sensore può entrare facilmente nelle finestre degli forni, e le componenti ottiche sono sigillate per evitare perdite di gas, garantendo così letture precise anche nelle sale pulite di classe 1–100. L’assenza di particelle non è solo una caratteristica teorica: essa deriva dal fatto che non ci sono parti in movimento e dall’allineamento preciso delle componenti. La ripetibilità delle misurazioni rimane entro lo 0,1%, permettendo così di effettuare lunghi cicli di produzione senza bisogno di ricalibrazioni.
Perché è utile nei forni di cottura
I processi di cottura del fotorestista richiedono un controllo termico molto preciso. Questo sensore permette di mantenere costante il punto di regolazione della temperatura su tutto il wafer, migliorando così il controllo delle dimensioni critiche e riducendo i tempi di riparazione. Inoltre, è possibile ampliare la gamma di condizioni di lavorazione senza sacrificare la produttività; inoltre, le scartoffie legate ai difetti diminuiscono, poiché le anomalie vengono rilevate immediatamente. Anche la stabilità dell’apparecchiatura migliora: meno allarmi falsi e meno interventi imprevisti. Il risultato è una maggiore resa produttiva e tempi di ciclo più prevedibili.
Cosa è necessario per ottenere risultati ottimali
L’installazione richiede semplicemente che l’apertura del forno sia adatta al sensore e che venga impostata correttamente l’emissività del fotorestista; altrimenti, le letture saranno errate. Inviamo un kit di calibrazione adatto ai tipi di fotorestista più comuni, ma per quelli nuovi potrebbe essere necessaria una calibrazione preliminare. È sufficiente fermare temporaneamente la linea di produzione per collegare il sensore al controllore del forno e allineare il fascio luminoso. Una volta configurato correttamente, il sistema funziona con minime manutenzioni.