Perché abbiamo passato alle lampade a infrarossi impermeabili per la essiccazione dei semiconduttori
Nella fase di risciacquo nella fabbrica di semiconduttori, l’obiettivo principale è eliminare rapidamente l’umidità dalla superficie del wafer, senza lasciare alcuna traccia di sporco.
Per molto tempo si è utilizzata soltanto la circolazione d’aria calda. Ma, onestamente, riscaldare grandi quantità d’aria è una perdita di tempo e risorse energetiche. Ecco perché abbiamo optato per le lampade a infrarossi impermeabili: è un metodo molto più efficace.
Il segreto sta nella densità termica
Utilizziamo lampade ad alta intensità a onde corte, poiché non influenzano l’aria circostante. L’energia viene trasmessa direttamente sulla superficie del wafer. Il risultato? Non c’è più bisogno di aspettare che l’aria si riscaldi. Queste lampade raggiungono la temperatura desiderata in pochi secondi. È veloce… davvero veloce. Inoltre, poiché si accendono rapidamente, non è necessario mantenere la macchina in funzione costante.
Gestire l’aspetto “umido” del processo
I ambienti di risciacquo sono, per definizione, umidi. Se si utilizzassero lampade a infrarossi normali, queste si danneggerebbero quasi immediatamente. Per evitare ciò, sigilliamo gli elettrodi e utilizziamo contenitori in quarzo per tenere fuori l’umidità. In questo modo, le lampade non si danneggiano quando l’ambiente diventa umido o quando vengono colpite da spruzzi d’acqua.
Ma c’è un problema: non basta semplicemente avvolgere la lampada in plastica. Bisogna trovare un equilibrio tra il sigillamento e la dispersione del calore. Questo rivestimento può infatti modificare leggermente lo spettro luminoso; per questo dedichiamo molto tempo alla calibrazione della lunghezza d’onda. Vogliamo che l’energia riesca a penetrare la pellicola d’acqua presente sul wafer, senza però danneggiare il substrato stesso.
Rendere la fabbrica più ecologica
L’abbandono degli forni a circolazione d’aria rappresenta un grande vantaggio dal punto di vista ambientale. Si possono eliminare quei ventilatori enormi e tutti quei condotti ingombranti. Meno hardware significa meno consumo di energia. In questo modo, l’intera struttura diventa più efficiente.
Un consiglio: se avete intenzione di sostituire i vecchi asciugatori ad aria con lampade a infrarossi, non basta collegarle semplicemente alla rete elettrica. Queste lampade richiedono molta energia non appena vengono accese. Probabilmente sarà necessario controllare i cavi e potenziare i fusibili, in modo da evitare problemi di alimentazione ogni volta che la lampada si accende.