Sensore IR ad alta precisione per wafer

Tue, 23 Jun 2026 13:34:21 +0800

Nella fase di litografia, i processi di “soft bake” e “hard bake” sono quelli attraverso cui viene definito il profilo del fotorestista. Una variazione di temperatura di 2°C può causare uno spostamento di Ttop di 20 nm; tale variazione si traduce in alterazioni nella larghezza dei bordi dei circuiti realizzati. È quindi necessario un controllo preciso della temperatura, che possa essere misurato, ripetuto e tracciato con precisione.

Cosa è importante per funzionamenti precisi
Abbiamo progettato il sensore a infrarossi in modo che funzioni in modo affidabile, utilizzando un emettitore NIR stabile e un rivelatore calibrato. In questo modo, l’uniformità termica a livello dei wafer rimane entro i ±0,1°C durante i processi di cottura. La testa del sensore può entrare facilmente nelle finestre degli forni, e le componenti ottiche sono sigillate per evitare perdite di gas, garantendo così letture precise anche nelle sale pulite di classe 1–100. L’assenza di particelle non è solo una caratteristica teorica: essa deriva dal fatto che non ci sono parti in movimento e dall’allineamento preciso delle componenti. La ripetibilità delle misurazioni rimane entro lo 0,1%, permettendo così di effettuare lunghi cicli di produzione senza bisogno di ricalibrazioni.

Asciugatura della maschera di saldatura per il wafer

Thu, 18 Jun 2026 01:31:48 +0800

Nel contesto della produzione, la fase di essiccazione della vernice di saldatura non è certo una procedura poco importante: si tratta infatti di un processo termico cruciale che influisce direttamente sulla qualità del prodotto finale. Se la temperatura varia o l’uniformità del riscaldamento diminuisce, si verificano problemi come grumi sui bordi del wafer, essiccazione incompleta e difetti che emergono soltanto in fase di confezionamento. Il nostro modulo per l’essiccazione della vernice di saldatura è progettato per garantire un controllo preciso a livello del wafer stesso, in modo che il processo avvenga secondo parametri stabili e prevedibili.

Wafer on Custom Warm IR Heater Builds

Sensore IR ad alta precisione per wafer

Asciugatura della maschera di saldatura per il wafer