防水型加熱テーブル IP44
赤外線ヒーターにおけるIP44等級の真実
防水型の赤外線ヒーターを作るとき、実際には「湿気」と「高温」という、互いに相容れない要素と戦っていることになります。
ほとんどの場合、このようなヒーターは、加熱素子が外部の配線と接続されている部分で故障します。その部分の密封が不完全だと、湿気が内部に侵入し...
リソグラフィー用ソフトベイク加熱素子
300mmファブのラインでは、ソフトベイクというのは単なるウォームアップではありません。それは、パターンの寸法制御において最も重要な工程なのです。ウェハーの温度が2℃変動するだけで、パターンの寸法がナノメートル単位で変わってしまい、その結果、大量のウェハーが不良品になってしまいます。そのため、加熱...