http://warm-ir-heater-build.com/ja/tags/%E7%84%BC%E3%81%8F/ Recent content in 焼く on Custom Warm IR Heater Builds Hugo ja Thu, 02 Jul 2026 03:54:15 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/ja/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Thu, 02 Jul 2026 03:54:15 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/ja/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://warm-ir-heater-build.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="リソグラフィー用ソフトベイク加熱素子"></p> <p>300mmファブのラインでは、ソフトベイクというのは単なるウォームアップではありません。それは、パターンの寸法制御において最も重要な工程なのです。ウェハーの温度が2℃変動するだけで、パターンの寸法がナノメートル単位で変わってしまい、その結果、大量のウェハーが不良品になってしまいます。そのため、加熱要素は、スキャナーの光学系と同じように高い熱安定性を持っていなければなりません。</p>