http://warm-ir-heater-build.com/ja/tags/%E7%B2%BE%E5%BA%A6/ Recent content in 精度 on Custom Warm IR Heater Builds Hugo ja Tue, 23 Jun 2026 13:34:21 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Tue, 23 Jun 2026 13:34:21 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://warm-ir-heater-build.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ウェーハ用高精度IRセンサー"></p> <p>リソグラフィーフロアにおいて、ソフトベイクとハードベイクの段階でフォトレジストのパターンが決定されます。2°Cの温度変動だけで、Ttopの値は20nmも変わってしまいます。このような変動が、ワーク全体にわたって線幅のばらつきとして現れます。したがって、測定可能で、再現性があり、追跡可能な温度制御が必要です。</p>