http://warm-ir-heater-build.com/ja/tags/%E9%83%A8%E5%93%81/ Recent content in 部品 on Custom Warm IR Heater Builds Hugo ja Mon, 08 Jun 2026 03:01:36 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/ja/posts/semiconductor-machinery-spare-parts-heater/ Mon, 08 Jun 2026 03:01:36 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/ja/posts/semiconductor-machinery-spare-parts-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-build.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="半導体機械用スペアパーツ ヒーター"></p> <p>リソグラフィ工程では、ソフトベークの温度が数度ずれるだけで、ウェハ上のクリティカルディメンションにばらつきが発生する。ヒーターは単に熱を加えるだけでなく、熱予算を管理している。予備部品が故障すると、不良がマップに現れる前から歩留まりが低下し始める。</p>