공장 건조 공정의 에너지 점검

왜 더 이상 낭비된 에너지를 쓰는가? 반도체 건조에 IR을 활용하자 대부분의 공장에서는 여전히 전통적인 방식을 사용합니다. 웨이퍼 위에 뜨거운 공기를 불어넣고 그냥 기다리는 것입니다. 사실상 수분이 스스로 증발하기를 기다리는 것이죠. 이 방식은 매우 느리고 비효율적입...