http://warm-ir-heater-build.com/ko/tags/%EB%B6%80%EB%93%9C%EB%9F%AC%EC%9A%B4/ Recent content in 부드러운 on Custom Warm IR Heater Builds Hugo ko Thu, 02 Jul 2026 03:54:15 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/ko/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Thu, 02 Jul 2026 03:54:15 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/ko/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://warm-ir-heater-build.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="리소그래피용 소프트 베이크 가열 요소"></p> <p>300mm 공정 라인에서의 소프트 베이크는 단순한 예열 과정이 아닙니다. 이는 치명적인 오차를 방지하기 위한 첫 번째 단계입니다. 웨이퍼의 온도가 2°C만 변해도 CD 값이 나노미터 단위로 변하게 되며, 그로 인해 전체 로트의 품질이 저하될 수 있습니다. 따라서 가열 요소는 스캐너 광학 장치와 마찬가지로 높은 열 안정성을 유지해야 합니다.</p>