http://warm-ir-heater-build.com/ko/tags/%EC%96%B4%EB%96%BB%EA%B2%8C/ Recent content in 어떻게 on Custom Warm IR Heater Builds Hugo ko Wed, 03 Jun 2026 01:50:25 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/ko/posts/how-to-replace-rtp-heater-lamp/ Wed, 03 Jun 2026 01:50:25 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/ko/posts/how-to-replace-rtp-heater-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-build.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="RTP 히터 램프 교체 방법"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>공장 바닥에서 RTP 챔버 램프는 폭죽처럼 갑자기 고장 나지 않는다. 대신 포토레지스트 프로파일의 이동, 넓어진 임계 치수 분포, 그리고 갑자기 레시피를 벗어난 열 예산으로 나타난다. 온도 불확실성은 빠르게 누적되어 로트가 쌓일수록 심해진다. 램프 교체는 단순한 유지보수 점검 항목이 아니라 공정 제어다.</p>