http://warm-ir-heater-build.com/ko/tags/%EC%99%80%EC%9D%B4%ED%8D%BC/ Recent content in 와이퍼 on Custom Warm IR Heater Builds Hugo ko Tue, 23 Jun 2026 13:34:21 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Tue, 23 Jun 2026 13:34:21 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://warm-ir-heater-build.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="웨이퍼용 고정밀 적외선 센서"></p> <p>리소그래피 공정에서는 소프트 베이크와 하드 베이크 단계에서 포토레지스트의 특성이 결정됩니다. 온도가 2°C만 변해도 Ttop 값은 20nm나 변할 수 있으며, 이러한 변동은 전체 웨이퍼에 걸쳐 선폭의 변화로 나타납니다. 따라서 정확하게 측정하고 반복적으로 확인할 수 있는 온도 제어가 필요합니다.</p>