Memanaskan wafer tanpa menyebabkan letupan
Sejujurnya, memanaskan wafer semasa proses pembersihan kimia merupakan perkara yang sangat berisiko. Anda bekerja dengan bahan pelarut dan wap yang mudah terbakar; ia seolah-olah sedang menunggu peluang untuk meletup. Menggunakan lampu inframerah biasa dalam keadaan seperti ini bukan sahaja berbahaya, tetapi juga boleh menyebabkan bencana. Sedikit percikan api atau suhu yang terlalu tinggi sudah cukup untuk mencetuskan bencana.
Kami telah mencari cara yang lebih baik. Daripada membiarkan elemen pemanasan terdedah kepada udara, kami memasukkannya ke dalam sistem pengasingan yang tertutup.
Mencegah bahan berbahaya daripada masuk
Kami mulakan dengan membungkus elemen inframerah tersebut dengan kaca kuarsa yang berkualiti tinggi. Kemudian, seluruh komponen tersebut dimasukkan ke dalam lapisan pelindung yang tahan terhadap bahan kimia dan tahan letupan. Ia ibarat baju zirah yang melindungi elemen pemanasan daripada bahan kimia berbahaya. Ini dapat mengelakkan wap beracun daripada merosakkan kabel atau sentuhan langsung pada filamen pemanasan.
Kami juga menggunakan peranti pengedap yang mampu menahan bahan pembersih yang agresif. Jika pengedap ini rosak, lampu tersebut akan padam dengan segera. Itulah sebabnya kami reka sistem ini untuk menangani tekanan yang tinggi—kerana “cukup baik” saja tidak mencukupi di sini.
Menjaga suhu stabil di bawah tekanan
Sinar inframerah pendek sangat efektif untuk memanaskan wafer dengan cepat. Namun, apabila haba yang banyak dikumpulkan dalam tiub tertutup, tekanan akan meningkat. Kami menghabiskan masa yang banyak untuk menyesuaikan kuasa lampu agar ia tidak merosakkan komponennya sendiri.
Jangan gunakan suis “on/off” biasa. Anda memerlukan pengawal PID yang tepat untuk mengekalkan suhu stabil. Sistem ini perlu menyesuaikan kuasa secara berterusan agar suhu permukaan tetap di bawah titik nyala bahan kimia tersebut. Semua ini bergantung pada kawalan yang tepat.
Kompromi yang perlu diterima
Tidak ada yang sempurna. Lapisan pelindung yang digunakan akan menimbulkan sedikit rintangan haba. Anda akan perasan sedikit kelewatan dalam proses pemindahan haba berbanding lampu biasa. Namun, ini bukan masalah besar. Anda mungkin perlu menggunakan elemen pemanasan yang berkuasa lebih tinggi untuk mencapai suhu yang diinginkan. Pastikan sistem pengudaraan anda berfungsi dengan baik. Anda tidak mahu wap berkumpul di sekitar badan pemanas, walau sebaik mana pun pengedapnya.