http://warm-ir-heater-build.com/ms/tags/ketepatan/ Recent content in Ketepatan on Custom Warm IR Heater Builds Hugo ms Tue, 23 Jun 2026 13:34:22 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/ms/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Tue, 23 Jun 2026 13:34:22 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/ms/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://warm-ir-heater-build.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Penderia IR yang tepat untuk wafer"></p> <p>Dalam proses litografi, proses “soft bake” dan “hard bake” merupakan langkah-langkah di mana profil fotorezist ditetapkan. Perubahan suhu sebanyak 2°C boleh menyebabkan perubahan Ttop sebanyak 20 nm. Perubahan ini akan menyebabkan variasi lebar garis pada permukaan wafer. Oleh itu, kawalan suhu yang tepat sangat penting agar bacaan yang diperoleh dapat diukur, diulang, dan direkod dengan tepat.</p> <p><strong>Apa yang penting di balik semua ini</strong><br> Kami membangunkan sensor inframerah yang tepat dengan <a href="https://o-yate.com">menggunakan</a> pemancar NIR yang stabil serta pengesan yang telah dikalibrasi dengan baik. Dengan cara ini, keseragaman suhu pada peringkat wafer dapat dipertahankan pada tahap ±0.1°C semasa proses pembakaran. Sensor tersebut boleh dimasukkan ke dalam ruang pembakaran yang sempit, dan komponen optiknya dilindungi <a href="https://henruite.com">daripada</a> pelepasan gas, sehingga bacaan yang diperoleh tetap konsisten dalam bilik bersih kelas 1–100. Pengeluaran zarah-zarah yang tidak diinginkan dapat dielakkan dengan menghindari penggunaan komponen yang berputar serta memastikan aliran cahaya yang konsisten. Repetibiliti output sensor kekal dalam lingkungan 0.1% sepanjang masa, jadi proses pembakaran dapat berjalan tanpa memerlukan penyesuaian semula.</p>