Elemen pemanas untuk proses litografi jenis soft bake .
Di lantai pengeluaran wafer berukuran 300mm ini, proses “soft bake” bukanlah sekadar langkah untuk memanaskan wafer. Sebaliknya, ia merupakan langkah...
Lampu untuk proses litografi semikonduktor
Dalam fasiliti pengeluaran yang beroperasi 24/7, proses pemanasan bahan fotoresist bukan sekadar langkah biasa semata-mata. Ia merupakan faktor...
Alat ganti untuk lampu litografi ASML
Di kilang pengeluaran, had suhu yang dibenarkan untuk setiap proses penghasilan telah ditetapkan dengan jelas. Jika keluaran cahaya lampu berubah...