Op de 300mm-fabrieksvloer is het ‘soft bake’-proces geen soort opwarmprocedure. Het is eerder een eerste stap in de controle van de cruciale dimensies van de chip. Een verschil van 2°C op het oppervlak van de chip kan ertoe leiden dat de dimensies met enkele nanometers veranderen. Hierdoor kan een hele batch chips beschadigd raken. De verwarmingscomponent moet dus dezelfde thermische stabiliteit hebben als de scannersystemen.
Wat technisch gezien belangrijk is:
Wij hebben de verwarmingscomponent voor het ‘soft bake’-proces ontworpen met als doel een temperatuuruniformiteit van ±0,1°C op het oppervlak van de chip te bereiken. Er wordt gebruik gemaakt van een halogeenlamp met korte golflengten, geplaatst in een envelop van hoogzuiver kwarts. Hierdoor wordt er snel warmte gegenereerd, met minimale thermische inertie. Dit zorgt voor een nauwkeurig temperatuurprofiel, zodat de oplosmiddelen die worden gebruikt om de fotoreductor te verwijderen, optimaal kunnen werken.
Het apparaat is geschikt voor gebruik in schone kamers van klasse 1–100. De materialen die worden gebruikt, zorgen ervoor dat er tijdens het gebruik en bij het vervangen van de lampen geen stofdeeltjes vrijkomen. De herhaalbaarheid is ≤0,05°C per keer, waardoor de lijndikte en de kwaliteit van de chips consistent blijven.
Waarom het werkt in een lithografiecel:
Je hebt een verwarmingssysteem nodig dat up-to-date is met de vereisten van de productieprocessen, zonder dat dit ten koste gaat van de productieprestaties. De verwarmingscomponent bereikt het gewenste temperatuurniveau in enkele seconden, waardoor de tijd die nodig is tussen het verwerken van verschillende chips minimaal is. Het lichte gewicht van de component zorgt er bovendien voor dat er minder warmte wordt overgedragen naar de ruimte waarin de chips worden verwerkt. Dit zorgt voor een consistent fotoreceptorverloop, minder herwerkingswerkzaamheden en een stabiele temperatuur over meerdere batches heen.
Belangrijke punten om in gedachten te houden:
De component heeft een montagesysteem dat geschikt is voor gebruik in schone kamers, en er moet een nauwkeurig gekalibreerde temperatuursensor worden gebruikt die past bij het lichtspectrum van de lamp. Zorg er ook voor dat de stroomvoorziening overeenkomt met de benodigde spanning, en dat de controller in staat is om het lichtsterktepeil nauwkeurig te regelen.
Vervanging van de lampen moet worden gezien als onderhoudswerk. Lampen hebben een lange levensduur, maar wanneer ze kapotgaan, gebeurt dat plotseling. Wanneer je met de kwartsenveloppen werkt, moet je antistatische maatregelen nemen – anders zal er stof zich ophopen.