IR on Custom Warm IR Heater Builds

Aluminiumreflector voor IR lamp

Sat, 25 Jul 2026 02:56:53 +0800

Stop met het verspillen van energie: waarom goudbeslagen reflectoren belangrijk zijn

Als je een IR-lamp gebruikt bij de verwerking van wafern en je maakt geen gebruik van een hoogwaardige reflector, gooi je in feite de helft van de energie weg. Het is een simpel probleem: lampen stralen energie in beide richtingen uit. Zonder een manier om die warmte weer terug te sturen naar de wafer, wordt alleen maar de lucht in je werkruimte opgewarmd.

Daar komt goudbeslagen aluminium om de hoek kijken.

Ceramische eindkap voor IR emitter

Sat, 18 Jul 2026 02:10:38 +0800

Meer warmte op de plekken waar het echt nodig is: IR-emitters met goudcoating
Als je werkt met halfgeleiderplakjes, weet je dat het verspillen van energie niet alleen een financieel probleem is – het veroorzaakt ook veel problemen. Wanneer IR-emitters worden gebruikt, gaat een groot deel van de warmte richting achteren, weg van het doelwit, waardoor er nauwelijks nut wordt gemaakt van de energie.

We lossen dit op door reflectoren te gebruiken die zijn bedekt met goud, en door hoge-kwaliteit keramische eindkapjes te gebruiken. Op deze manier zorgen we ervoor dat de energie naar waar het hoort gaat: richting voren.

Precisie IR sensor voor wafers

Tue, 23 Jun 2026 13:34:21 +0800

Op de lithografieafdeling worden de parameters van de fotorezist vastgesteld tijdens de zogenaamde ‘soft bake’ en ‘hard bake’. Een verschil van 2°C kan leiden tot een verschil van 20 nm in de temperatuur op het oppervlak van de wafer. Dit verschil komt tot uiting in verschillen in de dikte van de randen van de wafer. Er is dus temperatuurcontrole nodig die nauwkeurig kan worden gemeten, herhaald en gevolgd.

Wat er echt toe doet We hebben de precisiesensor gebouwd rondom een stabiele NIR-emitter en een gekalibreerde detector. Hierdoor blijft de thermische uniformiteit op het niveau van de wafer op ±0,1°C tijdens het bakproces. De sensoren passen in de kleine openingen van de oven, en de optica is afgesloten tegen uitstoot van gasen. Hierdoor blijven de metingen consistent in zuiverruimtes van klasse 1-100. Het voorkomen van partikelformatie is geen slogan; dit wordt bereikt door het vermijden van draaiende onderdelen en het behouden van een vaste oriëntatie van de sensoren. De herhalbaarheid van de metingen blijft binnen 0,1%, zodat langdurige processen zonder herkalibratie kunnen worden uitgevoerd.