Na linii 300 mm kontrola szerokości ścieżki powstaje dzięki procesom „soft bake” i „hard bake”. Nawet niewielka odchylenie temperatury o 2°C w strefie grzewczej może skutkować spadkiem jakości produktu. Potrzebny jest źródło ciepła, które będzie mogło równać się pod względem precyzji z możliwościami skanera – nie chodzi tu tylko o zwykły grzejnik.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Używamy żarówki emitującej światło w zakresie bliskiego podczerwieni. Dzięki temu uzyskujemy jednolitą temperaturę na całej powierzchni płytki, z dokładnością ±0,1°C. Żarówka oddaje ciepło szybko, poprzez promieniowanie, bez konieczności dotykania płytki. Spektrum światła jest tak dostrojone, aby farba fotopolimerowa efektywnie pochłaniała energię, a podłoże nie było pod wpływem tego ciepła. Dzięki temu utrzymuje się stała temperatura.
Żarówka jest zamontowana w pomieszczeniu klasy czystości 1–100: mieści się w hermetycznej powłoce z kwarcu, a jej konstrukcja zapewnia właściwe warunki pracy w środowisku o laminarnym przepływie powietrza. Sprawdzamy, że nie powstają żadne cząsteczki, a żywotność żarówki wynosi ponad 5 000 godzin, przy spadku wydajności mniejszym niż 5%. Dzięki temu urządzenie może pracować 24/7.
Dlaczego to rozwiązanie jest skuteczne? W procesie litografii żarówka typu NIR zastępuje tradycyjne źródła światła halogenowego i o średniej długości fali. Czas obróbki zmniejsza się, a stabilność temperatury jest zachowywana zarówno podczas procesu „soft bake”, jak i „hard bake”. Precyzja profilowania farby fotopolimerowej poprawia się, ponieważ ciepło jest oddawane bezpośrednio na powierzchnię płytki, a nie na elementy otaczające ją.
Pobór mocy jest mniejszy, ponieważ żarówka emituje światło efektywnie. Unikamy też konieczności częstej wymiany żarówek, co zmniejsza czas przerw w produkcji. To rozwiązanie jest kompatybilne z międzynarodowymi standardami sprzętowymi – nie ma potrzeby ponownej kalibracji całego systemu.
Co należy uwzględnić? Żarówka wymaga odpowiednich elementów sterujących oraz systemu kontroli zamkniętego obwodu. System otwarty nie sprawdzi się – lepiej go unikać. Potrzebny jest krótki czas nagrzewania, aby uzyskać stabilność spektralną. Montaż żarówki musi uwzględniać określoną odległość od powierzchni płytki.
Powłoka z kwarcu wymaga ostrożnego obchodzenia się z nią – należy postępować zgodnie z zasadami bezpieczeństwa ESD. Jeśli żarówka będzie prawidłowo umieszczona, profile obróbki pozostaną stabilne, zmniejszy się ilość odpadów, a cykle konserwacji staną się przewidywalne.