Na stanowiskach do litografii procesy miękkiego i twardego wypalania służą do ustawienia profilu fotorezystu. Zmiana temperatury o 2°C może spowodować zmianę wartości Ttop o 20 nm, a ta zmiana przejawia się jako różnice w szerokości pasma światła na całym arkuszu krzemowym. Konieczny jest więc kontrolowany system sterowania temperaturą, który umożliwia jej pomiar, powtarzanie pomiarów oraz śledzenie jej zmian.
Co jest istotne pod względem technicznym
Stworzyliśmy precyzyjny czujnik podczerwieni, wykorzystując stabilny emiter światła w zakresie NIR oraz kalibrowany detektor. Dzięki temu jednolitość temperatury na poziomie arkusza krzemowego utrzymuje się na poziomie ±0,1°C podczas procesu wypalania. Czujnik mieści się w wąskich otworach pieca, a jego elementy optyczne są hermetycznie zamknięte, co zapewnia spójne wyniki pomiarów w pomieszczeniach o czystości klasy 1–100. Brak powstawania cząstek nie jest tylko hasłem reklamowym – wynika to z braku elementów obracających się oraz ze zachowania stałej orientacji promienia świetlnego. Powtarzalność wyników pomiarów wynosi 0,1%, więc procesy mogą być prowadzone bez konieczności ponownej kalibracji.
Dlaczego ten czujnik jest przydatny w piecach do wypalania
Podczas procesu wypalania fotorezystu konieczne jest zachowanie ścisłych ograniczeń temperaturowych. Ten czujnik zapewnia stabilność temperatury na całym obszarze arkusza krzemowego, dzięki czemu można lepiej kontrolować wymiary elementów półprzewodnikowych, a liczba koniecznych korekt maleje. Można również zwiększyć zakres możliwych parametrów procesu bez straty wydajności, a ilość odpadów spada, ponieważ wszelkie odchylki są natychmiast wykrywane. Stabilność urządzenia również się poprawia – mniej fałszywych alarmów, mniej nieplanowanych interwencji. Rezultatem jest wyższa wydajność produkcji oraz możliwość planowania czasu realizacji zadań.
Co należy uwzględnić podczas montażu
Montaż polega na dostosowaniu rozmiarów otworu pieca oraz ustawieniu właściwej emisyjności fotorezystu. Jeśli to zrobimy źle, wyniki pomiarów będą błędne. Dołączamy zestaw kalibracyjny dostosowany do najpopularniejszych typów fotorezystu, ale nowe konfiguracje mogą wymagać dodatkowej kalibracji. Należy zaplanować krótką przerwę w pracy, aby podłączyć czujnik do kontrolera pieca i dostosować trajektorię promienia świetlnego. Gdy wszystko jest już ustawione, system może funkcjonować bez żadnego konserwowania.