http://warm-ir-heater-build.com/pl/tags/dok%C5%82adno%C5%9B%C4%87/ Recent content in Dokładność on Custom Warm IR Heater Builds Hugo pl Tue, 23 Jun 2026 13:34:22 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/pl/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Tue, 23 Jun 2026 13:34:22 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/pl/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://warm-ir-heater-build.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Czujnik IR o wysokiej precyzji do płytek krzemowych"></p> <p>Na stanowiskach do litografii procesy miękkiego i twardego <a href="https://henruite.com">wypalania</a> służą do ustawienia profilu fotorezystu. Zmiana temperatury o 2°C może spowodować zmianę wartości Ttop o 20 nm, a ta zmiana przejawia się jako różnice w szerokości pasma światła na całym arkuszu krzemowym. Konieczny jest więc kontrolowany system sterowania temperaturą, który umożliwia jej pomiar, powtarzanie pomiarów oraz śledzenie jej zmian.</p> <p><strong>Co jest istotne pod względem technicznym</strong><br> Stworzyliśmy precyzyjny czujnik podczerwieni, wykorzystując stabilny emiter światła w zakresie NIR oraz kalibrowany detektor. Dzięki temu <a href="https://o-yate.com">jednolito</a>ść temperatury na poziomie arkusza krzemowego utrzymuje się na poziomie ±0,1°C podczas procesu wypalania. Czujnik mieści się w wąskich otworach pieca, a jego elementy optyczne są hermetycznie zamknięte, co zapewnia spójne wyniki pomiarów w pomieszczeniach o czystości klasy 1–100. Brak powstawania cząstek nie jest tylko hasłem reklamowym – wynika to z braku elementów obracających się oraz ze zachowania stałej orientacji promienia świetlnego. Powtarzalność wyników pomiarów wynosi 0,1%, więc procesy mogą być prowadzone bez konieczności ponownej kalibracji.</p>