Na linii dryf temperaturowy nie sygnalizuje się ostrzeżeniem. Objawia się jako dryf szerokości linii po naświetleniu lub jako profil fotorezystu...

Na linii 300mm dryf temperatury pieczenia o 0,5°C zaburzy kontrolę wymiarów krytycznych (CD) i zwiększy ilość odpadów. W cleanroom klasy 1–100 jeden...

Na linii płytka oczekuje na podgrzanie, które utrwali profil domieszki. Jeden zimny punkt, jeden dryf temperatury, a aktywacja nie zostaje...