http://warm-ir-heater-build.com/pt/tags/assar/ Recent content in Assar on Custom Warm IR Heater Builds Hugo pt Thu, 02 Jul 2026 03:54:15 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/pt/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Thu, 02 Jul 2026 03:54:15 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/pt/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://warm-ir-heater-build.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Elemento de aquecimento para processos de litografia de cozimento suave"></p> <p>No chão de fábrica de 300 mm, o processo de “soft bake” não é apenas um procedimento de aquecimento inicial. Trata-se do primeiro passo no controle das dimensões críticas dos wafers. Uma variação de 2°C na temperatura do wafer pode causar mudanças de nanômetros nas dimensões críticas, afetando todo o lote de wafers produzidos. O elemento de aquecimento precisa manter uma estabilidade térmica igual àquela exigida pelas lentes utilizadas no processo de litografia.</p>