На линии продолжительностью 300 мм контроль толщины линий зависит от качества процессов мягкой и жесткой обработки. Даже отклонение температуры в 2°C в зоне нагрева может существенно снизить качество готовой продукции. Необходим источник тепла, способный обеспечить такую же степень точности, как у самого сканера – а не просто обычный нагреватель.
Что имеет значение с технической точки зрения
Мы используем излучатель в диапазоне ближнего инфракрасного света. Он обеспечивает равномерное нагревание поверхности пластины с точностью до ±0,1°C. Тепло передается быстро, без физического контакта с пластиной. Спектр излучения такой, что фоторезист эффективно поглощает энергию, а сама подложка не подвергается негативному воздействию тепла. Это позволяет контролировать температурный режим.
Излучатель размещается в чистом помещении класса 1–100: он закрыт в кварцевом корпусе, его расположение оптимизировано для работы в условиях ламинарного потока воздуха. Мы проверяем отсутствие частиц в процессе работы; лампа может работать более 5000 часов с потерей мощности менее 5%. Таким образом, она может работать круглосуточно.
Почему это работает эффективно
В зоне литографии излучатель в диапазоне ближнего инфракрасного света заменяет традиционные галогенные и средневолновые источники света. Время обработки сокращается, а стабильность температуры сохраняется на протяжении всего процесса. Точность обработки фоторезиста улучшается, поскольку нагревается сам фоторезист, а не окружающие его элементы.
Потребление энергии снижается благодаря эффективной передаче тепла. Не требуется частая замена ламп, что сокращает время простоя оборудования. Это решение соответствует международным стандартам; нет необходимости перенастраивать всю систему.
Что необходимо учитывать
Излучатель требует соответствующих устройств управления и системы замкнутого контроля. Использование открытой системы управления приведет к ошибкам – лучше этого избегать. Необходимо небольшое время на разогрев для достижения стабильности спектра излучения. Монтаж излучателя должен соответствовать установленным требованиям по расстоянию от поверхности пластины.
Кварцевый корпус должен обрабатываться с учетом требований к защите от электростатического разряда. Если соблюдать правила монтажа, профили нагрева будут стабильными, количество браков снизится, а периоды технического обслуживания станут предсказуемыми.