Инфракрасный Свет on Custom Warm IR Heater Builds

Контроллер цифрового инфракрасного сушилки

Fri, 24 Jul 2026 09:29:57 +0800

Как сохранить чистоту в помещении класса 100
Если вы работаете в среде класса 100, вы, наверное, знаете, насколько сложно избежать появления частиц в воздухе. Один маленький кусочек стекла или следы выбросов от дешевого нагревательного элемента могут привести к тому, что вся партия полупроводников или медицинских устройств окажется бесполезной. Это раздражает, это дорого, и это можно избежать.

Поэтому мы перестали использовать обычное боросиликатное стекло и начали использовать высокочистый синтетический кварц для производства инфракрасных ламп.

Секрет заключается в материале.
Кварц не реагирует на колебания температуры. У него практически нет теплового расширения, поэтому трубка не трескается и не выделяет микроскопические частицы кремния при изменении температуры. Мы также устранили органические добавки и примеси с низкой точкой плавления в процессе производства.

Лампа излучателя ближнего инфракрасного излучения (NIR)

Sat, 27 Jun 2026 01:54:25 +0800

На линии продолжительностью 300 мм контроль толщины линий зависит от качества процессов мягкой и жесткой обработки. Даже отклонение температуры в 2°C в зоне нагрева может существенно снизить качество готовой продукции. Необходим источник тепла, способный обеспечить такую же степень точности, как у самого сканера – а не просто обычный нагреватель.

Что имеет значение с технической точки зрения
Мы используем излучатель в диапазоне ближнего инфракрасного света. Он обеспечивает равномерное нагревание поверхности пластины с точностью до ±0,1°C. Тепло передается быстро, без физического контакта с пластиной. Спектр излучения такой, что фоторезист эффективно поглощает энергию, а сама подложка не подвергается негативному воздействию тепла. Это позволяет контролировать температурный режим.

Точный инфракрасный датчик дляWafer

Tue, 23 Jun 2026 13:34:21 +0800

На этапе литографии процесс приготовления фотополимера протекает в два этапа: мягкое и жесткое запекание. Изменение температуры на 2°C может привести к изменению параметров фотополимера на 20 нм. Это означает, что ширина линий на пластине будет меняться. Необходим контроль температуры, который позволяет измерять её, повторять измерения и отслеживать изменения.

Что действительно важно Мы создали точный инфракрасный датчик, используя стабильный излучатель в диапазоне ближнего инфракрасного света и калиброванный детектор. Благодаря этому температурное распределение на пластине сохраняется в пределах ±0,1°C во время процесса запекания. Датчик может помещаться в узкие отверстия печи, а оптика защищена от выделения газов, что обеспечивает стабильные показатели в чистых помещениях класса 1–100. Отсутствие образования частиц достигается за счет отказа от использования вращающихся элементов и сохранения фиксированной конфигурации установки. Повторяемость показаний датчика составляет 0,1%, что позволяет проводить длительные процессы без необходимости перекалибровки.