Элемент нагрева для мягкой печи в литографии

Thu, 02 Jul 2026 03:54:15 +0800

На производственном участке с размером пластин до 300 мм процедура «мягкой обработки» не является просто этапом разогрева. Это первый этап контроля критических параметров качества пластины. Изменение температуры на уровне 2°C может привести к смещению параметров качества пластины на уровне нанометров, что в свою очередь может сказаться на всей партии продукции. Элемент нагрева должен обеспечивать стабильность температуры с такой же точностью, как и оптика сканера.

Что имеет значение с технической точки зрения

Мы разработали элемент нагрева для процедуры «мягкой обработки» с учетом одного ключевого параметра – равномерности температуры на поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Для этого используется галогеновая лампа с коротковолновым излучением, расположенная внутри корпуса из высокочистого кварца. Это позволяет достичь быстрой реакции нагрева при минимальной тепловой инерции. Благодаря этому профиль нагрева остается стабильным, что способствует правильной процедуре удаления растворителя фоторезиста без избыточных нагрузок.

Мягкий on Custom Warm IR Heater Builds

Элемент нагрева для мягкой печи в литографии