http://warm-ir-heater-build.com/ru/tags/%D1%82%D0%BE%D1%87%D0%BD%D0%BE%D1%81%D1%82%D1%8C/ Recent content in Точность on Custom Warm IR Heater Builds Hugo ru Tue, 23 Jun 2026 13:34:21 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/ru/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Tue, 23 Jun 2026 13:34:21 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/ru/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://warm-ir-heater-build.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Точный инфракрасный датчик дляWafer"></p> <p>На этапе литографии процесс приготовления фотополимера протекает в два этапа: мягкое и жесткое запекание. Изменение температуры на 2°C может привести к изменению параметров фотополимера на 20 нм. Это означает, что ширина линий на пластине будет меняться. Необходим контроль температуры, который позволяет измерять её, повторять измерения и отслеживать изменения.</p> <p><strong>Что действительно важно</strong> Мы создали точный инфракрасный датчик, используя стабильный излучатель в диапазоне ближнего инфракрасного света и калиброванный детектор. Благодаря этому температурное распределение на пластине сохраняется в пределах ±0,1°C во время процесса запекания. Датчик может помещаться в узкие отверстия печи, а оптика защищена от выделения газов, что обеспечивает стабильные показатели в чистых помещениях класса 1–100. Отсутствие образования частиц достигается за счет отказа от использования вращающихся элементов и сохранения фиксированной конфигурации установки. Повторяемость показаний датчика составляет 0,1%, что позволяет проводить длительные процессы без необходимости перекалибровки.</p>