บนสายการผลิตขนาด 300mm การชะลอตัวของอุณหภูมิอบเพียง 0.5°C จะทำลายการควบคุม CD และทำให้ของเสียเพิ่มขึ้น ในห้องปลอดฝุ่น Class 1–100 ฝุ่นเพียงหนึ่งอนุภาคจากฮีตเตอร์ก็เพียงพอที่จะทำให้ชิ้นงานเสียหาย เราออกแบบฮีตเตอร์อินฟราเรดสำหรับห้องปลอดฝุ่นเพื่อลดความล้มเหลวทั้งสองรูปแบบนี้
สิ่งที่สำคัญในทางเทคนิค
เรานำอินฟราเรดคลื่นสั้นมาใช้เพื่อการถ่ายโอนพลังงานอย่างรวดเร็วและตรงจุด พร้อมรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิระดับเวเฟอร์ที่ ±0.1°C ในโซนอบ อุณหภูมิรอบขึ้นและรอบคงที่ทำซ้ำได้ในแต่ละรอบ ทำให้โปรไฟล์การอบแบบ soft bake และ hard bake คงที่ ฮีตเตอร์มีตัวเครื่องที่เหมาะกับห้องปลอดฝุ่น—พื้นผิวเรียบ วัสดุปล่อยแก๊สน้อย—และไม่มีการปล่อยฝุ่นขณะทำงาน การควบคุมอุณหภูมิแม่นยำพอที่จะรักษางบประมาณความร้อนในเทคโนโลยีขั้นสูงที่มีความคลาดเคลื่อนน้อยมาก
เหตุผลที่เหมาะกับแทร็ค
ในแทร็คลิโธกราฟี ต้องใช้อุณหภูมิที่ให้ความร้อนเร็ว คงที่ และไม่ทิ้งสารตกค้าง ฮีตเตอร์อินฟราเรดของเราสามารถขึ้นสู่ค่าเป้าหมายได้รวดเร็ว ช่วยลดเวลารอบงานโดยไม่เสียการควบคุมโปรไฟล์ ตัวเครื่องทำงาน 7×24 ชั่วโมงโดยไม่มีเวลาหยุดโดยไม่คาดคิด และอายุการใช้งานของอุปกรณ์ปล่อยรังสีรองรับการทำงานระยะยาวโดยไม่ต้องเปลี่ยนบ่อย ทำให้สายการผลิตคงสภาพและการบำรุงรักษามีความสม่ำเสมอ ผลลัพธ์คือความคงที่ของ critical dimension ลดของเสีย และให้ผลผลิตที่สม่ำเสมอ
สิ่งที่ต้องวางแผน
ฮีตเตอร์สามารถเชื่อมต่อกับชุดแทร็คมาตรฐานได้ แต่โปรไฟล์อุณหภูมิจะไวต่อรูปทรงของห้องอบและการไหลของอากาศ การติดตั้งต้องทำการแมปโซนร้อนและปรับแต่งตำแหน่งของอุปกรณ์ปล่อยรังสีให้เหมาะสมกับห้องอบนั้นๆ ควรกำหนดช่วงเวลาสั้นๆ สำหรับการติดตั้ง และตรวจสอบจำนวนฝุ่นที่อุณหภูมิใช้งานก่อนเปิดใช้งานกระบวนการจริง