300mm’lik bir hatta, fırın sıcaklığındaki 0.5°C sapma, CD kontrolünü bozacak ve hurda oranını artıracaktır. Class 1–100 temiz oda ortamında, ısıtıcıdan kaynaklanan tek bir partikül bir die’nin sonunu getirir. Temiz oda IR ısıtıcımızı, her iki hata modunu da ortadan kaldırmak üzere tasarladık.
Teknik açıdan önemli olan
Hızlı, doğrudan enerji transferi için kısa dalga kızılötesi emisyon cihazları kullanıyoruz ve fırın bölgesi boyunca wafer seviyesi üniformiteyi ±0.1°C içinde tutuyoruz. Sıcaklık artışı ve doygunluk, tekrar eden üretimlerde tutarlıdır; böylece yumuşak ve sert fırın profilleriniz sabit kalır. Isıtıcı gövdesi temiz oda uyumludur; pürüzsüz yüzeyler ve düşük gaz salınımı yapan malzemeler kullanılmıştır ve çalışma sırasında sıfır partikül yayar. Kontrol sistemi, özellikle marjın çok düşük olduğu ileri teknoloji node’larda termal bütçeyi koruyacak kadar kesindir.
Hat ile uyumunun nedeni
Litografi hatlarında, hızlı ısıtma, kararlı sıcaklık koruma ve kalıntı bırakmayan bir sistem gereklidir. IR ısıtıcımız setpoint değerine hızla ulaşır, döngü süresini azaltırken profil kontrolünden ödün vermez. 7×24 kesintisiz çalışır ve emisyon cihazlarının ömrü uzun kampanyaları destekler; sık değiştirme gerektirmez, hattınız stabil kalır, bakım ise tahmin edilebilir olur. Karşılık olarak kritik boyut stabilitesi, düşük hurda oranı ve tutarlı verim elde edilir.
Planlama için gerekenler
Isıtıcı standart hat konfigürasyonlarıyla uyumludur ancak termal profil, hazne geometrisi ve hava akışına karşı hassastır. Devreye alma aşamasında sıcak bölgenin haritalanması ve emisyon cihazlarının fırın haznesine göre ayarlanması gerekir. Kısa bir entegrasyon süresi ayırın ve süreç başlamadan önce çalışma sıcaklığında partikül sayısını doğrulayın.