http://warm-ir-heater-build.com/tr/tags/do%C4%9Fruluk/ Recent content in Doğruluk on Custom Warm IR Heater Builds Hugo tr Tue, 23 Jun 2026 13:34:21 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/tr/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Tue, 23 Jun 2026 13:34:21 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/tr/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://warm-ir-heater-build.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Wafer için yüksek hassasiyetli IR sensörü"></p> <p>Litografi sürecinde, foto direnç profillerinin belirlendiği yerler “yumuşak pişirme” ve “sert pişirme” aşamalarıdır. 2°C’lik bir sıcaklık değişimi, Ttop değerini 20 nm <a href="https://o-yate.net">kadar</a> değiştirebilir ve bu durum da üretilen ürü<a href="https://goldisgood.com">nlerin</a> kenar genişliklerinde farklılı<a href="https://henruite.com">klara</a> neden olur. Ölçülebilen, tekrarlanabilen ve izlenebilen bir sıcaklık kontrolü gereklidir.</p> <p><strong>Önemli olan şeyler</strong><br> Yüksek hassasiyetli IR sensörümüzü, stabil bir NIR verici ve kalibre edilmiş bir dedektör üzerine kurduk. Böylece pişirme işlemi sırasında waferin termal düzenliliği ±0,1°C aralığında korunur. Sensör başlığı, dar fırın penceresinden geçebilir ve optik bileşenler gaz sızıntısına karşı korunmuştur; bu sayede Class 1–100 temiz odalarında ölçümler tutarlı kalır. Sıfır partikül üretimi sadece bir iddia değildir; bu durum, dönen parçaların kullanılmaması ve sabit bir hizalama yolunun sağlanmasıyla mümkün olur. Çıkışların tekrarlanabilirliği 24 saat boyunca %0,1 civarında kalır; böylece uzun süreli işlemler yeniden kalibrasyon olmadan gerçekleştirilebilir.</p>