Üretim alanında, her bir üretim partisi için gerekli olan termal parametreler önceden belirlenmiştir. Eğer lambanın verimi değişirse veya fırın...

Litografi katında, birkaç derece sapma bile kritik boyutların wafer üzerinde kaymasına yol açabilir. Isıtıcı sadece ısı sağlamıyor—termal bütçeyi...