Як подолати бар’єр високої вартості у використанні пристроїв RTP для обробки напівпровідників
Давайте перейдемо до суті. На виробництві ніхто не хвилюється лише через високу ціну обладнання. Йдеться про те, щоб завдання було виконано належним чином. Ми намагаємося знайти рішення проблеми заміни дорогих спеціалізованих ламп для процесу RTP на більш ефективні, вітчизняні інфрачервоні нагрівачі. Суть у тому, щоб знайти замінник, який буде ефективно виконувати свою функцію, не вимагаючи при цьому повної переробки всієї машини.
Енергія, напруга та розміри – ось те, що є справжніми критеріями для вибору обладнання
Ми будуємо наші лампи так, щоб вони могли витримувати теплове навантаження, яке створюється в камері RTP. Більшість систем працює при напрузі 400 В, що забезпечує необхідну потужність для швидкого нагрівання пластин. А розмір 300 мм є стандартним, тож лампа легко вставляється у наявні кріплення та зони нагріву.
Така потужність вимагає надійного електричного живлення. Але це також означає, що тепло розподіляється рівномірно по всій пластині. Немає „гарячих точок“ – лише стабільна та надійна робота.
Як саме передається тепло
У основі лампи знаходиться кварцева трубка високої чистоти, яка витримує стрімке нагрівання та охолодження. Усередині трубки галогенний газ та спіральний фільтр разом створюють інтенсивне інфрачервоне випромінювання. Це випромінювання проникає прямо в силіконову пластину, при цьому майже не витрачається енергія.
А що стосується роз’єму R7s – це не опція. Він забезпечує надійний контакт, необхідний для стабільної роботи навіть під впливом вібрацій. Кварцове покриття ретельно налаштоване так, щоб енергія направлялась саме туди, де це необхідно.
Що це означає на виробництві
На виробництві напівпровідників час простою не вимірюється годинами – а кількістю втрачених пластин. Саме тому наші лампи розроблені так, щоб їх можна було легко замінити. Достатньо лише підключити їх, і система починає працювати. Без жодних проблем.
Крім того, завдяки сумісності з існуючим обладнанням можна уникнути довгого очікування та завищених цін, які є характерними для оригінальних комплектуючих.
Але є один недолік. Висока потужність пов’язана з певними обмеженнями. Система охолодження машини повинна бути на високому рівні. Якщо система охолодження недостатньо потужна, температура може піднятися занадто високо, що прискорить зношення інших компонентів.
Це простий компроміс: висока потужність передбачає певні обмеження. Система охолодження машини повинна витримувати це навантаження. Якщо цього не вдається, температура піднімається, що прискорює зношення компонентів.
Ми будуємо лампи так, щоб вони могли витримувати теплове навантаження. Але решта системи також повинна бути здатна впоратися з цим навантаженням.