На лінії 300 мм зсув у температурі випікання на 0,5°C призведе до порушення контролю критичного розміру (CD) та збільшення браку. У чистій кімнаті класу 1–100 одна частинка від нагрівача може зруйнувати одну пластину. Ми створили наш чистий кімнатний інфрачервоний нагрівач для виключення обох режимів відмови.
Що має значення з технічної точки зору
Ми використовуємо короткохвильові інфрачервоні випромінювачі для швидкої та прямої передачі енергії, утримуючи однорідність на рівні пластини в межах ±0,1°C по всій зоні випікання. Температурний підйом та витримка повторювані від циклу до циклу, тому профілі м’якого та жорсткого випікання залишаються стабільними. Корпус нагрівача адаптований до роботи у чистій кімнаті — гладкі поверхні, матеріали з низьким виділенням летких речовин, при роботі нагрівач не спричинює утворення частинок. Управління достатньо точне, щоб зберегти тепловий бюджет на передових технологічних вузлах, де запас мінімальний.
Чому він підходить для треку
У литографічних треках потрібне тепло, яке швидко досягає заданих параметрів, утримується стабільно та не залишає слідів. Наш інфрачервоний нагрівач швидко виходить на точку встановлення, скорочуючи час циклу без втрати контролю профілю. Він працює 7×24 без незапланованих простоїв, ресурс випромінювача дозволяє довгі кампанії без частих замін, отже лінія залишається у встановленому стані, а обслуговування — прогнозованим. Результатом є стабільний критичний розмір, менше браку та послідовна вихідна продуктивність.
Що слід врахувати при плануванні
Нагрівач сумісний зі стандартними налаштуваннями треку, проте тепловий профіль чутливий до геометрії камери та повітряного потоку. Пусконалагодження передбачає картографування гарячої зони та налаштування розміщення випромінювачів під конкретну камеру випікання. Заплануйте коротке вікно інтеграції та перевірте кількість частинок при робочій температурі перед запуском процесу.