На лінії 300 мм контроль товщини ліній залежить від ефективності процедур „м’якого“ та „жорсткого“ випалювання. Навіть незначний зсув температури на 2°C може серйозно вплинути на якість продукції. Потрібен джерело тепла, яке зможе досягти рівня точності сканера – а не просто нагрівач.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми використовуємо емітер ультрафіолетового світла, який забезпечує однорідність температури на поверхні пластини з похибкою ±0,1°C. Він швидко передає тепло без контакту з пластиною. Спектр світла налаштований так, щоб фоторезист ефективно поглинав світло, а сама пластина не піддається негативному впливу тепла. Це допомагає контролювати рівень тепловиділення.
Емітер розташовується у чистій кімнаті класу 1–100: він закритий у кварцовому корпусі, що забезпечує правильну геометрію розташування. Ми перевіряємо відсутність частинок у приміщенні, а лампа може працювати понад 5 000 годин зі зниженням її ефективності менше ніж на 5%. Таким чином, лампа може працювати 24/7.
Чому це ефективно
У процесі літографії емітор ультрафіолетового світла замінює традиційні галогенові та середньохвильові джерела світла. Час випалювання скорочується, а стабільність параметрів залишається на високому рівні під час обох процедур. Точність формування профілю фоторезисту покращується, оскільки тепло передається безпосередньо на плівку, а не на всю конструкцію навколо неї.
Потреба в енергії зменшується через ефективну передачу тепла, а також через меншу кількість замін ламп. Це дозволяє уникнути непланових перерв у роботі. Цей пристрій може бути використаний замість існуючих пристроїв, оскільки він відповідає міжнародним стандартам – немає потреби переатестувати всю систему.
Що потрібно враховувати
Емітер потребує відповідних керуючих пристроїв та системи замкнутого контролю. Використання системи відкритого контролю призведе до появи похибок – краще уникати цього. Є короткий час підготовки для досягнення стабільності спектру світла, а також необхідно дотримуватися певного відстані між емітером та поверхнею пластини.
Кварцовий корпус потрібно обробляти з урахуванням вимог щодо захисту від електростатичних руйнувань. Якщо корпус буде правильно розташований, профілі випалювання залишатимуться стабільними, кількість відходів зменшиться, а періоди технічного обслуговування стануть передбачуваними.